燃烧法是使用高温燃烧进程将有机废气转换成CO2与H2O，根据废气的燃烧温度可分为750摄氏度-850摄氏度的燃烧化与350摄氏度～450摄氏度触媒焚化二类，因触媒式易造成触媒毒化，故很少选用这种办法。吸附法是使用高孔隙率、高表面积的吸附剂，将废气中的有机气体分子别离，而净化有机废气。适用于集成电路产业的有机废气处理办法有吸附法和燃烧法。
废气处理系统由高温转轮设备和活性炭吸附设备构成。有机废气经过预过滤器，除去尘埃颗粒，维护下游的设备；经过原气体冷凝器，除去高沸点有机物甲基乙基酮MEA，维护高温转轮设备内的吸附剂；经过加热器，加热冷凝后的有机废气至30C左右，这样可以进步有机物吸附率；接着通AC过滤器，再次过滤去除高沸点有机物。废气送风机将有机废气送人高温转轮设备进行吸附。
高温转轮分为前后二室，并装有一个大转盘，转盘上装有纸质活性炭过滤器。有机废气过滤和吸附后排人大气中，吸附后的转盘转入另一室内，通入150。C左右的热空气进行解吸附，解吸附出来的浓缩气体经过过滤器、冷凝器、加热器、G—AC过滤器等设备，被浓缩气体送风机送人颗粒活性炭吸附筒处理，吸附后排放于大气中。
吸附筒的活性炭经过水蒸气及压缩空气控制吸附桶上下挡板动作来完结解吸附，解吸附后的水蒸气经冷凝后变成浓缩液回收。此流程设计的有机废气含异丙醇、醋酸丁脂、二甲基亚砜、苯类等，有机气体浓度为65ppm，经高温转轮设备处理，均匀去除率可达90％以上，排放到大气中的有机气体浓度小于6．5ppm，浓缩气体的体积约为原废气的1／15左右，浓度为原废气的12～13倍左右，活性碳吸附设备均匀去除率可达95％以上。实践数据表明其非甲烷总烃排放浓度为1．55—90mg／m，排放速率为0．010～0．155kg／h，均能到达相应的排放标准。其运转处理效果良好。
